真空熱處理技術是近些年發展起來的一種技術，它所具備的特點，正是精密模具制造中所迫切需要的，比如以免加氧化和不脫碳、真空脫氣或除氣，消掉氫脆，從而上升材料(零件)的塑性、韌性和疲勞強度。真空加熱緩慢、零件內外溫差較小等因素，決定了真空熱處理工藝造成的零件變形小等。 

       按采用的冷卻介質不同，真空淬火可分為油冷、氣冷、水冷和硝鹽等溫淬火。精密模具制造真空熱處理中主要應用的是真空油冷淬火、真空氣冷淬火和真空回火。為保持工件真空加熱的優良特性，冷卻劑和冷卻工藝的選擇及制定很重要，模具淬火過程主要采用油冷和氣冷。 

       對于熱處理后不進行機械加工的精密模具工作面，淬火后盡可能采用真空回火，尤是真空淬火的工件，它可以上升與表面質量相關的機械性能。如疲勞性能、表面光亮度、腐蝕性等。
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